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PRODUCT DETAILS
Overhead Hoist Transport (OHT)
Streamline material handling with Overhead Hoist Transport (OHT), offering efficient, automated solutions for seamless
movement of goods in high-tech manufacturing environments like semiconductors and electronics.
空中無人搬運車 (OHT)
空中無人搬運車 (OHT) 系統是專為半導體製造廠內物料處理而設計的尖端解決方案。它促進了不同製程區域（艙間）之間以及特定區域內（包括製造設備、測試設備和儲料器（艙內））的材料無縫運輸。 OHT 系統以其先進的自動化功能、卓越的效率以及維持清潔、低振動環境的能力而聞名，在優化高科技製造流程的生產力和可靠性方面發揮著至關重要的作用。
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OHT 型號
.png?width=167&height=188&name=image%202%20(2).png "OHT AF1100")
AF1100
載體類型：12” FOUP，6”/8” SMIF Pod
應用場景：前端和後端製程（例如：凸塊、TSV 等）
AM690
載體類型：雜誌
應用場景：後端流程（例如晶片或引線鍵合）
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AM490
載體類型：雜誌
應用場景：後端流程（例如晶片或引線鍵合）
OHT 規格
| OHT Model | AF1100 | AM690 | AM490 | |
| 攜帶盒式 | 12”FOUP 6"/8" SMIF Pod |
料盒 | 料盒 | |
| 夾緊數量 | 1 | 1~2 | 1~2 | |
| 酬載（公斤） | 10 | 15 | 15 | |
| 尺寸寬*深*高（毫米） | 850*450*960 (FOUP) 780*450*960 (SMIF Pod) |
865*570*585 | 1050*650*440 | |
| 重量（公斤 | 110 | 100 | 92 | |
| 底部/天花板距離（mm） | 1100 | 690 | 490 | |
| 行駛速度 | 直線速度(m/s) | 5.3 (無FOUP) 5.0 (有FOUP) |
3.5 (無MGZ) 3.3 (有MGZ) |
2.3 (無MGZ) 2.1 (有MGZ) |
| 彎道速度 (m/s) | 1 | 1 | 1 | |
| 加速和減速 (m/s2) | 加速 2.0 減速 3.0 |
加速 2.0 減速 3.0 |
加速1.2 減速1.8 |
|
| 定位精度 (mm) | ±1 | |||
| 提升 | 速度 (m/s) | 1.9 (空) | 1.9 (空) | 1.9 (空) |
| 加速和減速 (m/s²) | 3.0 (空) | 3.0 (空) | 3.0 (空) | |
| 側邊叉 | 速度 (m/s) | 0.36 | 0.36 | 0.36 |
| 加速和減速 (m/s2) | 1.0 | 1.0 | 1.0 | |
| 行程 (mm) | 420/470 (雙面) | 300 (單面) | 350 (單面) | |
| 旋轉 | 角度 | ±3° | ±3° | 無 |
| 速度(deg/s) | 26 | 26 | - | |
| 振動 | <0.5 G | |||
| 清潔度 | Class 100 (FS209E) | |||
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