自動化物料處理系統

產業挑戰

清潔度要求高

傳統的物流搬運設備佔用體積較大，降低了無塵廠房空間的利用率，且難以滿足潔淨度要求。

對操控穩定性要求高

晶圓製造流程複雜，涉及多個生產步驟，且晶圓的尺寸和重量不斷增加，運輸過程中不可控的因素可能導致品質問題。

搬運效率要求高

不同工序的清洗車間之間距離較遠，晶圓重量大、易碎，限制了人工搬運的效率。

我們的解決方案

我們的AMHS有助於解決半導體工廠的瓶頸問題。

● 无线供电系统（HID）等核心AMHS设备更加清洁、安全、免维护，满足半导体工厂的洁净度要求。

● AMHS在制造执行系统（MES）和物料控制系统（MCS）的控制下，帮助半导体工厂实现真正的智能搬运，比人工搬运更加稳定。

● AMHS通过与制造执行系统（MES）通讯，利用调度系统指派OHT抓取搬运指定目标机台的载料箱，搬运速度可高达（3~4 m/s），达到更大的搬运能力，减少在制晶圆的等待时间，缩短晶圆生产周期。

客户价值

AMHS 可提高半导体工厂的制造效率、提高产品良率、降低人工成本、增强生产灵活性并提高安全性。它可使车间整体效率提高 5%、产品良率提高 1%、人员产生的碎片率降低 99%。