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PRODUCT DETAILS
Overhead Hoist Transport (OHT)
Streamline material handling with Overhead Hoist Transport (OHT), offering efficient, automated solutions for seamless
movement of goods in high-tech manufacturing environments like semiconductors and electronics.
空中悬挂运输系统 (OHT)
空中悬挂运输系统（OHT）是一种为半导体晶圆厂（FAB）设计的先进物料搬运解决方案。该系统能够实现不同工艺区域（跨区域，inter-bay）之间以及各特定区域（如制造设备、测试设备和存储系统（intra-bay））内部的无缝物料运输。
OHT 系统因其高度自动化、卓越的运行效率和保持洁净、低振动环境的能力而闻名，在提升高科技制造过程的生产效率与可靠性方面发挥着关键作用。
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OHT 机型
.png?width=167&height=188&name=image%202%20(2).png "OHT AF1100")
AF1100
载具类型: 12” FOUP, 6”/8” SMIF Pod
应用场景: 前段与后段制程 (e.g. 凸点, TSV 等)
AM690
载具类型: Magazine
应用场景: 后段制程（Eg.晶粒贴装或金线键合）
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AM490
载具类型: Magazine
应用场景：后段制程（Eg.晶粒贴装或金线键合）
OHT 技术规格
| OHT 机型 | AF1100 | AM690 | AM490 | |
| 适用载具类型 | 12”FOUP 6"/8" SMIF Pod |
料盒 | 料盒 | |
| 夹爪数量 | 1 | 1~2 | 1~2 | |
| 最大载重 (kg) | 10 | 15 | 15 | |
| 尺寸 W*D*H (mm) | 850*450*960 (FOUP) 780*450*960 (SMIF Pod) |
865*570*585 | 1050*650*440 | |
| 本体重量 (kg) | 110 | 100 | 92 | |
| 底部/顶部 距离 (mm) | 1100 | 690 | 490 | |
| 行驶性能 | 直线速度 (m/s) | 5.3 (无FOUP) 5.0 (有FOUP) |
3.5 (无料盒) 3.3 (有料盒) |
2.3 (无料盒) 2.1 (有料盒) |
| 弯道速度 (m/s) | 1 | 1 | 1 | |
| 加速度/减速度 (m/s2) | 加速度 2.0 减速度 3.0 |
加速度 2.0 减速度 3.0 |
加速度 1.2 减速度1.8 |
|
| 定位精度 (mm) | ±1 | |||
| 升降性能 | 升降速度 (m/s) | 1.9 (空载) | 1.9(空载) | 1.9 (空载) |
| 升降加减速 (m/s²) | 3.0 (空载) | 3.0 (空载) | 3.0 (空载) | |
| 侧夹爪 | 速度 (m/s) | 0.36 | 0.36 | 0.36 |
| 加减速度 (m/s2) | 1.0 | 1.0 | 1.0 | |
| 行程 (mm) | 420/470 （双侧） | 300 （单侧） | 350 （单侧） | |
| 旋转功能 | 角度 | ±3° | ±3° | Non |
| 旋转速度（度/秒） | 26 | 26 | - | |
| 振动 | <0.5 G | |||
| 洁净等级 | Class 100 (FS209E) | |||
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